A- A0 A+ | EN
Προσομοίωση της λιθογραφίας ηλεκτρονικής δέσμης
Διαβάστε τη διατριβή (Online)
Κατεβάστε τη διατριβή σε μορφή PDF (53.36 MB)  (Η υπηρεσία είναι διαθέσιμη μετά από δωρεάν εγγραφή)

Όλα τα τεκμήρια στο ΕΑΔΔ προστατεύονται από πνευματικά δικαιώματα.

DOI
10.12681/eadd/17763
Διεύθυνση Handle
http://hdl.handle.net/10442/hedi/17763
ND
17763
Εναλλακτικός τίτλος
Simulation of electron beam lithography
Συγγραφέας
Τσικρίκας, Νικόλαος (Πατρώνυμο: Α.)
Ημερομηνία
2009
Ίδρυμα
Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο (ΕΜΠ). Σχολή Εφαρμοσμένων Μαθηματικών και Φυσικών Επιστημών. Τομέας Φυσικής
Εξεταστική επιτροπή
Τσουκαλάς Δημήτριος
Γλέζος Νικόλαος
Γογγόλιας Ευάγγελος
Ζεργιώτη Ιωάννα
Πίσσης Πολύκαρπος
Ράπτης Ιωάννης
Σκαρλάτος Δημήτριος
Επιστημονικό πεδίο
Φυσικές Επιστήμες ➨ Φυσική
Λέξεις-κλειδιά
Προσομοίωση λιθογραφίας; Δέσμη ηλεκτρονίων; Μετρολογία; Επεξεργασία εικόνας; Οπισθοσκέδαση; Εναπόθεση ενέργειας; Λιθογραφικά υλικά; Εμφανίσεις
Χώρα
Ελλάδα
Γλώσσα
Ελληνικά
Άλλα στοιχεία
188 σ., εικ.
Στατιστικά χρήσης
ΠΡΟΒΟΛΕΣ
Αφορά στις μοναδικές επισκέψεις της διδακτορικής διατριβής για την χρονική περίοδο 07/2018 - 07/2023.
Πηγή: Google Analytics.
ΞΕΦΥΛΛΙΣΜΑΤΑ
Αφορά στο άνοιγμα του online αναγνώστη για την χρονική περίοδο 07/2018 - 07/2023.
Πηγή: Google Analytics.
ΜΕΤΑΦΟΡΤΩΣΕΙΣ
Αφορά στο σύνολο των μεταφορτώσων του αρχείου της διδακτορικής διατριβής.
Πηγή: Εθνικό Αρχείο Διδακτορικών Διατριβών.
ΧΡΗΣΤΕΣ
Αφορά στους συνδεδεμένους στο σύστημα χρήστες οι οποίοι έχουν αλληλεπιδράσει με τη διδακτορική διατριβή. Ως επί το πλείστον, αφορά τις μεταφορτώσεις.
Πηγή: Εθνικό Αρχείο Διδακτορικών Διατριβών.
Σχετικές εγγραφές (με βάση τις επισκέψεις των χρηστών)