A- A0 A+ | EN
Φυσικοχημεία πολυμερών σε διεργασίες αποτύπωσης σχήματος ολοκληρωμένων κυκλωμάτων: επιφανειακή απεικόνιση και εμφάνιση με ηλεκτρικές εκκενώσεις πλάσματος εποξειδωμένων πολυμερικών υλικών
Διαβάστε τη διατριβή (Online)
Κατεβάστε τη διατριβή σε μορφή PDF (13.01 MB)  (Η υπηρεσία είναι διαθέσιμη μετά από δωρεάν εγγραφή)

Όλα τα τεκμήρια στο ΕΑΔΔ προστατεύονται από πνευματικά δικαιώματα.

DOI
10.12681/eadd/12461
Διεύθυνση Handle
http://hdl.handle.net/10442/hedi/12461
ND
12461
Εναλλακτικός τίτλος
Physical chemistry of polymers in integrated circuits fabrication: surface silylation and dry development of epoxy novolac photoresists
Συγγραφέας
Τέγου, Ευαγγελία
Ημερομηνία
2000
Ίδρυμα
Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο (ΕΜΠ). Τμήμα Χημικών Μηχανικών. Τομέας Ανάλυσης, Σχεδιασμού και Ανάπτυξης Διεργασιών και Συστημάτων
Εξεταστική επιτροπή
Ανδρεόπουλος Ανδρέας
Δημοτίκαλη Δήμητρα
Θεοδώρου Θεόδωρος
Κυρανούδης Χρήστος
Μπουντουβής Ανδρέας
Τσαμάκης Δημήτριος
Χατζηχρηστίδης Νικόλαος
Επιστημονικό πεδίο
Επιστήμες Μηχανικού και Τεχνολογία ➨ Επιστήμη Χημικού Μηχανικού
Λέξεις-κλειδιά
Φυσικοχημεία; Πολυμερή; Πυριτίωση; Θερμική ανάλυση; Ηλεκτρικές εκκενώσεις πλάσματος; Λιθογραφία ηλεκτρονικής δέσμης; Λιθογραφία; Εποξειδωμένο φωτοπολυμερικό υλικό
Χώρα
Ελλάδα
Γλώσσα
Ελληνικά
Άλλα στοιχεία
207 σελ., εικ.
Στατιστικά χρήσης
ΠΡΟΒΟΛΕΣ
Αφορά στις μοναδικές επισκέψεις της διδακτορικής διατριβής για την χρονική περίοδο 07/2018 - 07/2023.
Πηγή: Google Analytics.
ΞΕΦΥΛΛΙΣΜΑΤΑ
Αφορά στο άνοιγμα του online αναγνώστη για την χρονική περίοδο 07/2018 - 07/2023.
Πηγή: Google Analytics.
ΜΕΤΑΦΟΡΤΩΣΕΙΣ
Αφορά στο σύνολο των μεταφορτώσων του αρχείου της διδακτορικής διατριβής.
Πηγή: Εθνικό Αρχείο Διδακτορικών Διατριβών.
ΧΡΗΣΤΕΣ
Αφορά στους συνδεδεμένους στο σύστημα χρήστες οι οποίοι έχουν αλληλεπιδράσει με τη διδακτορική διατριβή. Ως επί το πλείστον, αφορά τις μεταφορτώσεις.
Πηγή: Εθνικό Αρχείο Διδακτορικών Διατριβών.
Σχετικές εγγραφές (με βάση τις επισκέψεις των χρηστών)
Ρόφηση ατμών σε λεπτά πολυμερικά υμένια
Νέα υλικά και διεργασίες για μικρολιθογραφία υψηλής διακριτικής ικανότητας
Προσομοίωση φυσικοχημικών διεργασιών σε κυψέλες καυσίμου
Σύνθεση και φασματοσκοπικός χαρακτηρισμός άκαμπτων πολυμερών και μιγμάτων τους, για χρήση τους σε κελιά καυσίμου
Αυτοοργάνωση πολυμερών: πολυηλεκτρολύτες και σύμπλοκά τους με πρωτεΐνες
Ανάπτυξη πολυμερικών ηλεκτρολυτών για εφαρμογές σε πολυμερικές κυψελίδες καυσίμου (PEMFC)
Μελέτη τροποποιημένων πολυμερικών μεμβρανών για χρήση σε κυψελίδες καυσίμου αγωγής πρωτονίων και εφαρμογές διαχωρισμού αερίων
Δυναμική υαλώδης μετάβαση και μορφολογία σε συστήματα πολυουρεθανών: μελέτη με τεχνικές διηλεκτρικής φασματοσκοπίας
Παρασκευή και εφαρμογές σύνθετων μεμβρανών για τον διαχωρισμό αερίων σε βιομηχανικές εγκαταστάσεις
Λειτουργία πιλοτικού συστήματος βιοαντιδραστήρα υπερδιηθήσεως στην επεξεργασία αστικών λυμάτων