Νέα υλικά και διεργασίες για μικρολιθογραφία υψηλής διακριτικής ικανότητας

Περίληψη

Αναπτύχθηκαν νέα υλικά και διεργασίες μικρολιθογραφίας στα πλαίσια της ευρύτερης ερευνητικής δραστηριότητας για διερεύνηση και αξιολόγηση νέων πολυμερικών υλικών για λιθογραφία υψηλής διακριτικής ικανότητας, με στόχο τη σμίκρυνση των διαστάσεων των Ολοκληρωμένων Κυκλωμάτων. Η κατεύθυνση που ακολουθήθηκε περιελάμβανε τη διερεύνηση πολυμερών με ελαφρά τροποποιημένη δομή σε σχέση με πολυμερή που ήδη χρησιμοποιούνται και τη διαφοροποίηση της σύστασης σύνθετων πολυμερικών υλικών με χρήση κατάλληλων οργανικών προσθέτων ή/και μιγμάτων πολυμερών, με στόχο σε κάθε περίπτωση τη βελτίωση των λιθογραφικών χαρακτηριστικών. Τα υλικά που προτάθηκαν και αξιολογήθηκαν στη διατριβή αυτή ανήκουν στις δύο κυριότερες κατηγορίες πολυμερικών υλικών που χρησιμοποιούνται σε εφαρμογές μικρολιθογραφίας, δηλαδή στα ακρυλικά και φαινολικά πολυμερικά υλικά. Και στις δύο περιπτώσεις διερευνήθηκε η δυνατότητα βελτίωσης των λιθογραφικών χαρακτηριστικών μέσω εισαγωγής υδρόφιλων υδροξυλικών ομάδων στο πολυμερικό υλικό. ...
περισσότερα

Περίληψη σε άλλη γλώσσα

New materials and microlithographic processes were developed within the frame of a broader research activity aiming at the investigation and the evaluation of new polymeric materials for high resolution lithography, targeting at the further decrease of integrated circuit critical dimensions. The followed direction included the investigation of polymers with slightly modified structure relatively to others already in use and the alteration of the composition of complex polymers, using the appropriate organic additives or/and mixtures of polymers, aiming in every case at the improvement of the corresponding lithographic characteristics. The materials, which have been investigated and evaluated in this thesis, belong to the two most important classes of polymers that are being used for microlithographic applications, i.e., the acrylic and the phenolic polymers. For both classes the possibility of improving lithographic characteristics through the insertion of hydrophilic hydroxy groups in ...
περισσότερα

Όλα τα τεκμήρια στο ΕΑΔΔ προστατεύονται από πνευματικά δικαιώματα.

DOI
10.12681/eadd/16479
Διεύθυνση Handle
http://hdl.handle.net/10442/hedi/16479
ND
16479
Εναλλακτικός τίτλος
Novel materials and processes for high resolution microlithography
Συγγραφέας
Βασιλοπούλου, Μαρία του Αριστοτέλης
Ημερομηνία
2002
Ίδρυμα
Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο (ΕΜΠ). Σχολή Χημικών Μηχανικών. Τομέας ΙΙΙ : Επιστήμης και Τεχνικής των Υλικών
Εξεταστική επιτροπή
Μαρκάτος Νικόλαος
Σιμιτζής Ιωάννης
Σπυρέλλης Νικόλαος
Δημοτικάλη Δήμητρα
Αναστασοπούλου Ιωάννα
Μπουντουβής Ανδρέας
Τσαμάκης Δημήτριος
Επιστημονικό πεδίο
Επιστήμες Μηχανικού και Τεχνολογία
Επιστήμη Χημικού Μηχανικού
Λέξεις-κλειδιά
Μικρολιθογραφία; Λιθογραφία υψηλής διακριτικής ικανότητας; Ακρυλικά πολυμερή; Πολυ(μεθακρυλικός 2-υδροξυαιθυλεστέρας); Βελτίωση ρυθμού εγχάραξης
Χώρα
Ελλάδα
Γλώσσα
Ελληνικά
Άλλα στοιχεία
261 σ., εικ.
Στατιστικά χρήσης
ΠΡΟΒΟΛΕΣ
Αφορά στις μοναδικές επισκέψεις της διδακτορικής διατριβής.
Πηγή: Google Analytics.
ΞΕΦΥΛΛΙΣΜΑΤΑ
Αφορά στο άνοιγμα του online αναγνώστη.
Πηγή: Google Analytics.
ΜΕΤΑΦΟΡΤΩΣΕΙΣ
Αφορά στο σύνολο των μεταφορτώσων του αρχείου της διδακτορικής διατριβής.
Πηγή: Εθνικό Αρχείο Διδακτορικών Διατριβών.
ΧΡΗΣΤΕΣ
Αφορά στις μοναδικές επισκέψεις της διδακτορικής διατριβής.
Πηγή: Εθνικό Αρχείο Διδακτορικών Διατριβών.
Σχετικές εγγραφές (με βάση τις επισκέψεις των χρηστών)