Θεωρία ηλεκτρονικής μικροσκοπίας εγγύς πεδίου

Περίληψη

Η ηλεκτρονική μικροσκοπία εγγύς πεδίου (Near Field Emission Scanning Electron Microscopy-NFESEM) αποτελεί μία νέα μορφή ηλεκτρονικής μικροσκοπίας σάρωσης που αναπτύχθηκε τα τελευταία έξι χρόνια. Είναι πολλά υποσχόμενη καθώς έχει δυνατότητες λήψης εικόνων ηλεκτρονικού μικροσκοπίου σάρωσης (Scanning Electron Microscopy - SEM) με σχεδόν ισοδύναμη διακριτική ικανότητα χωρίς να χρησιμοποιεί ηλεκτρομαγνητικούς φακούς εστίασης, που αποτελούν σημαντικό κομμάτι του κόστους ενός SEM. Αυτό επιτυγχάνεται με τοποθέτηση της καθόδου σε απόσταση d μερικών nm από το δείγμα (στο SEM είναι της τάξης των cm) και χρήση εξαιρετικά αιχμηρών ακίδων-εκπομπών.Το χαρακτηριστικά αυτά του NFESEM γεννούν σημαντικά ερωτήματα ως προς τα βασικά χαρακτηριστικά της πεδιακής εκπομπής ηλεκτρονίων (Field Emission–FE), τα οποία η υπάρχουσα θεωρία FE αδυνατεί να απαντήσει επαρκώς. Στόχος αυτής της διδακτορικής διατριβής είναι να μελετήσει θεωρητικά την FE όταν η απόσταση d είναι πολύ μικρή (μερικά nm) και οι εκπομποί είναι ε ...
περισσότερα

Περίληψη σε άλλη γλώσσα

Near Field Scanning Electron Microscopy (NFESEM) is a new form of electron microscopy, developed during the last 6 years. It is capable of acquiring Scanning Electron Microscopy (SEM) type images with almost equivalent resolution without any use of focusing or collimation of the beam. The latter is very promising since the system is a significant part of the cost of the SEM. It is achieved by placing the emitter in a small distance d (some nm) from the sample and using very sharp tips for emitters.The characteristics of the NFESEM raise questions about the characteristics of Field Emission (FE) which the existing FE theory fails to answer sufficiently. This PhD thesis aims to theoretically analyze the physical properties of FE when the distance d is some nm and the emitters are highly curved (radii of curvature R~1-20nm) as happens in the NFESEM configuration.In chapter 1 the existing FE theory is presented along with the theoretical methods that are used in following chapters. Chapter ...
περισσότερα

Όλα τα τεκμήρια στο ΕΑΔΔ προστατεύονται από πνευματικά δικαιώματα.

DOI
10.12681/eadd/43014
Διεύθυνση Handle
http://hdl.handle.net/10442/hedi/43014
ND
43014
Εναλλακτικός τίτλος
Theory of near field emission scanning electron microscopy
Συγγραφέας
Κυριτσάκης, Ανδρέας (Πατρώνυμο: Κωνσταντίνος)
Ημερομηνία
2014
Ίδρυμα
Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο (ΕΜΠ). Σχολή Ηλεκτρολόγων Μηχανικών και Μηχανικών Υπολογιστών. Τομέας Ηλεκτρομαγνητικών Εφαρμογών, Ηλεκτροοπτικής και Ηλεκτρονικών Υλικών
Εξεταστική επιτροπή
Ξανθάκης Ιωάννης
Τσαμάκης Δημήτριος
Χιτζανίδης Κυριάκος
Γλύτσης Ηλίας
Τσουκαλάς Δημήτριος
Τίγκελης Ιωάννης
Δημητριάδης Χαράλαμπος
Επιστημονικό πεδίο
Φυσικές Επιστήμες
Φυσική
Επιστήμες Μηχανικού και Τεχνολογία
Επιστήμη Ηλεκτρολόγου Μηχανικού, Ηλεκτρονικού Μηχανικού, Μηχανικού Η/Υ
Λέξεις-κλειδιά
Πεδιακή εκπομπή ηλεκτρονίων; Ηλεκτρονικό μικροσκόπιο σάρωσης; Ηλεκτρονικό μικροσκόπιο σάρωσης εγγύς πεδίου; Διάμετρος δέσμης; Προσέγγιση Jeffreys-wentzel-krammers-brillouin; Φαινόμενο σήραγγας; Κλιμάκωση; Νανοσκοπικοί εκπομποί ηλεκτρονίων; Εξίσωση fowler-nordheim
Χώρα
Ελλάδα
Γλώσσα
Ελληνικά
Άλλα στοιχεία
169 σ., εικ., σχημ., γραφ.
Στατιστικά χρήσης
ΠΡΟΒΟΛΕΣ
Αφορά στις μοναδικές επισκέψεις της διδακτορικής διατριβής για την χρονική περίοδο 07/2018 - 07/2023.
Πηγή: Google Analytics.
ΞΕΦΥΛΛΙΣΜΑΤΑ
Αφορά στο άνοιγμα του online αναγνώστη για την χρονική περίοδο 07/2018 - 07/2023.
Πηγή: Google Analytics.
ΜΕΤΑΦΟΡΤΩΣΕΙΣ
Αφορά στο σύνολο των μεταφορτώσων του αρχείου της διδακτορικής διατριβής.
Πηγή: Εθνικό Αρχείο Διδακτορικών Διατριβών.
ΧΡΗΣΤΕΣ
Αφορά στους συνδεδεμένους στο σύστημα χρήστες οι οποίοι έχουν αλληλεπιδράσει με τη διδακτορική διατριβή. Ως επί το πλείστον, αφορά τις μεταφορτώσεις.
Πηγή: Εθνικό Αρχείο Διδακτορικών Διατριβών.
Σχετικές εγγραφές (με βάση τις επισκέψεις των χρηστών)