Λιθογραφικά υλικά που βασίζονται σε φωτοχημικά προκαλούμενη διάσπαση της κύριας αλυσίδας πολυακεταλών

Περίληψη σε άλλη γλώσσα

The present dissertation refers to the exploration of novel lithographic materials, based on photodegradable polymers of the polyketal/polyacetal family that undergo main chain scission via photochemically mediated pathways. Suitable synthetic methodologies were developed allowing the incorporation of selected chemical functionalities in the polymers resulted to absorption spectrum tuning for effective photolysis under preferred irradiation conditions either mediated by photoacid generators, or induced by direct polymer group excitation. In addition, the rational chemical design of the polymers, allowed optimization of a range of physicochemical parameters of the developed polymeric materials those were crucial in selective applications.In the quest for the development of materials for standard semiconductor lithography aiming at device fabrication, we achieved the synthesis of polymers with desirable physicochemical properties such as optimum solubility before and after exposure in se ...
περισσότερα

Όλα τα τεκμήρια στο ΕΑΔΔ προστατεύονται από πνευματικά δικαιώματα.

DOI
10.12681/eadd/27786
Διεύθυνση Handle
http://hdl.handle.net/10442/hedi/27786
ND
27786
Εναλλακτικός τίτλος
Lithographic materials based on chemically induced main chain scission of polyacetals
Συγγραφέας
Μανουράς, Θεόδωρος του Ιωάννης
Ημερομηνία
2012
Ίδρυμα
Εθνικό και Καποδιστριακό Πανεπιστήμιο Αθηνών (ΕΚΠΑ). Σχολή Θετικών Επιστημών. Τμήμα Χημείας
Εξεταστική επιτροπή
Χατζηχρηστίδης Νικόλαος
Αργείτης Παναγιώτης
Πιτσικάλης Μαρίνος
Τσουκαλάς Δημήτριος
Δημοτίκαλη Δήμητρα
Ιατρού Ερμόλαος
Χατζηχρηστίδη Μαργαρίτα
Επιστημονικό πεδίο
Φυσικές ΕπιστήμεςΧημεία
Λέξεις-κλειδιά
Πολυκετάλες; Πολυακετάλες; Διάσπαση κύριας αλυσίδας; Φωτοδιασπώμενα πολυμερή; Φωτοαποδόμηση με ακτινοβολία Laser; Χημικώς ενισχυόμενα πολυμερικά υλικά
Χώρα
Ελλάδα
Γλώσσα
Ελληνικά
Άλλα στοιχεία
185 σ., εικ., σχημ., γραφ., ευρ.
Στατιστικά χρήσης
ΠΡΟΒΟΛΕΣ
Αφορά στις μοναδικές επισκέψεις της διδακτορικής διατριβής.
Πηγή: Google Analytics.
ΞΕΦΥΛΛΙΣΜΑΤΑ
Αφορά στο άνοιγμα του online αναγνώστη.
Πηγή: Google Analytics.
ΜΕΤΑΦΟΡΤΩΣΕΙΣ
Αφορά στο σύνολο των μεταφορτώσων του αρχείου της διδακτορικής διατριβής.
Πηγή: Εθνικό Αρχείο Διδακτορικών Διατριβών.
ΧΡΗΣΤΕΣ
Αφορά στις μοναδικές επισκέψεις της διδακτορικής διατριβής.
Πηγή: Εθνικό Αρχείο Διδακτορικών Διατριβών.
Σχετικές εγγραφές (με βάση τις επισκέψεις των χρηστών)