A- A0 A+ | EN
Σχεδιασμός αντιδραστήρων χημικής απόθεσης από ατμό. Εφαρμογή στη απόθεση βολφραμίου και στην απόθεση οξειδίου του κασσιτέρου
Διαβάστε τη διατριβή (Online)
Κατεβάστε τη διατριβή σε μορφή PDF (54.38 MB)  (Η υπηρεσία είναι διαθέσιμη μετά από δωρεάν εγγραφή)

Όλα τα τεκμήρια στο ΕΑΔΔ προστατεύονται από πνευματικά δικαιώματα.

DOI
10.12681/eadd/16961
Διεύθυνση Handle
http://hdl.handle.net/10442/hedi/16961
ND
16961
Εναλλακτικός τίτλος
Desidgn of chemical vapor deposition reactors. Application to tungsten deposition and to tin oxide deposition
Συγγραφέας
Ξενίδου, Θεοδώρα (Πατρώνυμο: Χαράλαμπος)
Ημερομηνία
2003
Ίδρυμα
Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο (ΕΜΠ). Σχολή Χημικών Μηχανικών
Εξεταστική επιτροπή
Μαρκάτος Νικόλαος-Χρήστος
Μπουντουβής Ανδρέας
Κυρανούδης Χρήστος
Σπυρέλλης Νικόλαος
Τσαμάκης Δημήτριος
Βλάχος Νικόλαος
Ματάρας Δημήτριος
Επιστημονικό πεδίο
Επιστήμες Μηχανικού και Τεχνολογία ➨ Επιστήμη Χημικού Μηχανικού
Λέξεις-κλειδιά
Χημική απόθεση ατμών; Αντιδραστήρες, Σχεδιασμός; Ρευστοδυναμική, Υπολογιστική; Κινητική, Χημική; Βολφράμιο; Οξείδιο κασσιτέρου; Μικροηλεκτρονικές εφαρμογές; Υμένια
Χώρα
Ελλάδα
Γλώσσα
Ελληνικά
Άλλα στοιχεία
197 σ., εικ., ευρ.
Στατιστικά χρήσης
ΠΡΟΒΟΛΕΣ
Αφορά στις μοναδικές επισκέψεις της διδακτορικής διατριβής για την χρονική περίοδο 07/2018 - 07/2023.
Πηγή: Google Analytics.
ΞΕΦΥΛΛΙΣΜΑΤΑ
Αφορά στο άνοιγμα του online αναγνώστη για την χρονική περίοδο 07/2018 - 07/2023.
Πηγή: Google Analytics.
ΜΕΤΑΦΟΡΤΩΣΕΙΣ
Αφορά στο σύνολο των μεταφορτώσων του αρχείου της διδακτορικής διατριβής.
Πηγή: Εθνικό Αρχείο Διδακτορικών Διατριβών.
ΧΡΗΣΤΕΣ
Αφορά στους συνδεδεμένους στο σύστημα χρήστες οι οποίοι έχουν αλληλεπιδράσει με τη διδακτορική διατριβή. Ως επί το πλείστον, αφορά τις μεταφορτώσεις.
Πηγή: Εθνικό Αρχείο Διδακτορικών Διατριβών.
Σχετικές εγγραφές (με βάση τις επισκέψεις των χρηστών)
Εναπόθεση υμενίων Cu και WOₓ με θερμική και θερμαινόμενου νήματος χημική εναπόθεση από ατμό: χαρακτηρισμός και εφαρμογή τους στην μικροηλεκτρονική
ΑΝΑΠΤΥΞΗ ΚΑΙ ΧΑΡΑΚΤΗΡΙΣΜΟΣ ΛΕΠΤΩΝ ΥΜΕΝΙΩΝ ΤΗΣ ΕΝΩΣΕΩΣ TIBISE2
Εναπόθεση και χαρακτηρισμός μαγνητο-ηλεκτρικών υμενίων
Ειδικά προβλήματα ποιότητας φαρμάκων χορηγούμενων από το στόμα: πεδίο σχεδιασμού, βιοφαρμακευτικό σύστημα ταξινόμησης και στατιστικός έλεγχος διεργασίας με ανατροφοδότηση
Επεξεργασία υγρών αποβλήτων με τη χρήση μεμβρανών
Σύνθεση, κινητική μελέτη και χαρακτηρισμός νανοσύνθετων υλικών πολυμεθακρυλικής μήτρας
Παρασκευή χαρακτηρισμός και μελέτη νανοσύνθετων υμενίων CoPt/B και CoPt/Ag για μαγνητικά μέσα εγγραφής υπερυψηλής πυκνότητας
Προσομοίωση της διασποράς αέριων ρύπων σε περίπλοκες τοπογραφίες με τη χρήση μοντέλου σωματιδίων τύπου Lagrange το οποίο βασίζεται στην εξίσωση Langevin
Ανάπτυξη και μελέτη λεπτών υμενίων οργανικών ημιαγωγών και υβριδικών υλικών για εφαρμογή σε οργανικές ηλεκτρονικές διατάξεις
Ανάπτυξη μεθόδων παραγωγής νανοσωλήνων άνθρακα μέσω χημικής απόθεσης από ατμό