Μελέτη και βελτιστοποίηση των ηλεκτρικών ιδιοτήτων λεπτών μονωτικών υμενίων που χρησιμοποιούνται σε Μικρο-Ηλεκτρο-Μηχανικά Συστήματα (MEMS)

Περίληψη

Οι χωρητικοί διακόπτες RF MEMS αποτελούν ιδιαίτερα υποσχόμενες διατάξεις στον τομέα των τηλεπικοινωνιών όμως προβλήματα αξιοπιστίας εμποδίζουν την εμπορευματοποίησή τους έως και σήμερα, με σημαντικότερο τη φόρτιση των διηλεκτρικών τους υμενίων. Στόχος της διατριβής είναι η κατανόηση των μηχανισμών πόλωσης και αποπόλωσης αυτών των διηλεκτρικών υμενίων καθώς επίσης και η μελέτη της επίδρασης των συνθηκών εναπόθεσης στα ηλεκτρικά τους χαρακτηριστικά. Το διηλεκτρικό υλικό που μελετήθηκε είναι το νιτρίδιο του πυριτίου, οι ηλεκτρικές ιδιότητες του οποίου δεν είναι ακόμη πλήρως γνωστές παρά το γεγονός ότι αποτελεί ένα από τα πιο διαδεδομένα υλικά στην μικροηλεκτρονική.Οι ηλεκτρικές ιδιότητες των υμενίων νιτριδίου του πυριτίου εξετάσθηκαν αρχικά για διάφορες συνθήκες πόλωσης. Η επίδραση της έντασης, της πολικότητας και του χρόνου εφαρμογής του ηλεκτρικού πεδίου πόλωσης στα ηλεκτρικά χαρακτηριστικά των υμενίων αυτών μελετήθηκε σε διατάξεις πυκνωτών μετάλλου-διηλεκτρικού-μετάλλου (ΜΙΜ) και σε χω ...
περισσότερα

Περίληψη σε άλλη γλώσσα

Capacitive RF Micro-Electro-Mechanical (MEMS) switches are one of the most promising devices for RF applications due to their small size, weight and possibility to be integrated in ICs. However reliability problems still hinder their commercialization, the most important being the effect of dielectric charging. The present thesis aims to provide a better understanding of charging and discharging processes that appear in the dielectric films of RF MEMS switches and affect the operational characteristics of these devices. The dielectric material that has been investigated is silicon nitride, which is commonly used in RF MEMS switches. The electrical properties of these films have been probed with the aid of RF MEMS switches and Metal-Insulator-Metal (MIM) capacitors.First, the electrical characteristics of silicon nitride films have been investigated for different polarization conditions. The increase of polarization field’s intensity assists charge trapping in defect states with very la ...
περισσότερα

Όλα τα τεκμήρια στο ΕΑΔΔ προστατεύονται από πνευματικά δικαιώματα.

DOI
10.12681/eadd/30279
Διεύθυνση Handle
http://hdl.handle.net/10442/hedi/30279
ND
30279
Εναλλακτικός τίτλος
Investigation of electrical properties of thin dielectric films used in Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS)
Συγγραφέας
Κουτσουρέλη, Ματρώνη του Σταύρος
Ημερομηνία
2014
Ίδρυμα
Εθνικό και Καποδιστριακό Πανεπιστήμιο Αθηνών (ΕΚΠΑ). Σχολή Θετικών Επιστημών. Τμήμα Φυσικής
Εξεταστική επιτροπή
Παπαϊωάννου Γεώργιος
Καλαμιώτου Μαρία
Πίσσης Πολύκαρπος
Τριμπέρης Γεώργιος
Τσουκαλάς Δημήτριος
Αραπογιάννη Αγγελική
Τίγκελης Ιωάννης
Επιστημονικό πεδίο
Φυσικές Επιστήμες
Φυσική
Επιστήμες Μηχανικού και Τεχνολογία
Επιστήμη Ηλεκτρολόγου Μηχανικού, Ηλεκτρονικού Μηχανικού, Μηχανικού Η/Υ
Λέξεις-κλειδιά
Ηλεκτρικές ιδιότητες; Διηλεκτρικά υμένια; Μικρο-Ηλεκτρο-Μηχανικά Συστήματα; Διακόπτες RF MEMS; Νιτρίδιο του πυριτίου; Ηλεκτρική πόλωση; Μικροηλεκτρονική
Χώρα
Ελλάδα
Γλώσσα
Ελληνικά
Άλλα στοιχεία
xiv, 152 σ., εικ., πιν., σχημ., γραφ., ευρ.
Στατιστικά χρήσης
ΠΡΟΒΟΛΕΣ
Αφορά στις μοναδικές επισκέψεις της διδακτορικής διατριβής.
Πηγή: Google Analytics.
ΞΕΦΥΛΛΙΣΜΑΤΑ
Αφορά στο άνοιγμα του online αναγνώστη.
Πηγή: Google Analytics.
ΜΕΤΑΦΟΡΤΩΣΕΙΣ
Αφορά στο σύνολο των μεταφορτώσων του αρχείου της διδακτορικής διατριβής.
Πηγή: Εθνικό Αρχείο Διδακτορικών Διατριβών.
ΧΡΗΣΤΕΣ
Αφορά στις μοναδικές επισκέψεις της διδακτορικής διατριβής.
Πηγή: Εθνικό Αρχείο Διδακτορικών Διατριβών.
Σχετικές εγγραφές (με βάση τις επισκέψεις των χρηστών)