Χημική εναπόθεση από ατμό διηλεκτρικών υμενίων: εφαρμογές των υμενίων αυτών σε ηλεκτρονικές διατάξεις πυριτίου

Όλα τα τεκμήρια στο ΕΑΔΔ προστατεύονται από πνευματικά δικαιώματα.

DOI
10.12681/eadd/13078
Διεύθυνση Handle
http://hdl.handle.net/10442/hedi/13078
ND
13078
Εναλλακτικός τίτλος
Chemical vapor deposition of dielectric films: applications to microelectronic devices
Συγγραφέας
Βαμβακάς, Βασίλειος (Πατρώνυμο: Εμ.)
Ημερομηνία
2001
Ίδρυμα
Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο (ΕΜΠ). Τμήμα Εφαρμοσμένων Μαθηματικών και Φυσικών Επιστημών (ΤΕΜΦΕ)
Εξεταστική επιτροπή
Δρυς Εμμανουήλ
Μαρκάτος Νικόλαος
Ξανθάκης Γιάννης
Μπουτουβής Ανδρέας
Τσαμάκης Δημήτριος
Παπαδημητρίου Δήμητρα
Ράπτης Ιωάννης
Επιστημονικό πεδίο
Φυσικές ΕπιστήμεςΧημεία
Επιστήμες Μηχανικού και ΤεχνολογίαΜηχανική Υλικών
Λέξεις-κλειδιά
Φασματοσκοπία; Διηλεκτρικά υμένια; Ατμός; Πυρίτιο; Διατάξεις Mofset
Χώρα
Ελλάδα
Γλώσσα
Ελληνικά
Άλλα στοιχεία
xviii, 228 σελ., εικ.
Στατιστικά χρήσης
ΠΡΟΒΟΛΕΣ
Αφορά στις μοναδικές επισκέψεις της διδακτορικής διατριβής για την χρονική περίοδο 07/2018 - 07/2023.
Πηγή: Google Analytics.
ΞΕΦΥΛΛΙΣΜΑΤΑ
Αφορά στο άνοιγμα του online αναγνώστη για την χρονική περίοδο 07/2018 - 07/2023.
Πηγή: Google Analytics.
ΜΕΤΑΦΟΡΤΩΣΕΙΣ
Αφορά στο σύνολο των μεταφορτώσων του αρχείου της διδακτορικής διατριβής.
Πηγή: Εθνικό Αρχείο Διδακτορικών Διατριβών.
ΧΡΗΣΤΕΣ
Αφορά στους συνδεδεμένους στο σύστημα χρήστες οι οποίοι έχουν αλληλεπιδράσει με τη διδακτορική διατριβή. Ως επί το πλείστον, αφορά τις μεταφορτώσεις.
Πηγή: Εθνικό Αρχείο Διδακτορικών Διατριβών.
Σχετικές εγγραφές (με βάση τις επισκέψεις των χρηστών)