A- A0 A+ | EN
Βελτιστοποίηση της χημικής ενάποθεσης μικροκρυσταλλικού υδρογονωμένου πυριτίου σε αντιδραστήρα πλάσματος μεταβλητής ραδιοσυχνότητας
Διαβάστε τη διατριβή (Online)
Κατεβάστε τη διατριβή σε μορφή PDF (12.43 MB)  (Η υπηρεσία είναι διαθέσιμη μετά από δωρεάν εγγραφή)

Όλα τα τεκμήρια στο ΕΑΔΔ προστατεύονται από πνευματικά δικαιώματα.

DOI
10.12681/eadd/12522
Διεύθυνση Handle
http://hdl.handle.net/10442/hedi/12522
ND
12522
Εναλλακτικός τίτλος
Optimization of microcrystalline silicon deposition process in variable radio-frequency plasma reactor
Συγγραφέας
Αμανατίδης, Ελευθέριος (Πατρώνυμο: Κ.)
Ημερομηνία
2001
Ίδρυμα
Πανεπιστήμιο Πατρών. Σχολή Πολυτεχνική. Τμήμα Χημικών Μηχανικών. Τομέας Επιστήμης και Τεχνολογίας Υλικών. Εργαστήριο Χημείας Πλάσματος
Εξεταστική επιτροπή
Ραπακούλιας Δημήτριος
Βερύκιος Ξενοφών
Βομβορίδης Ιωάννης
Μπουντούβης Αντρέας
Ματαράς Δημήτριος
Μπογοσιάν Σογομων
Επιστημονικό πεδίο
Επιστήμες Μηχανικού και Τεχνολογία
Επιστήμη Χημικού Μηχανικού
Λέξεις-κλειδιά
Χημική εναπόθεση πλάσματος; Μικροκρυσταλλικό πυρίτιο; Ηλεκτρικές εκκενώσεις; Σιλάνιο; Ράδιο-συχνότητα; Αντιδραστήρες πλάσματος; Φωτοβολταϊκές ιδιοσυσκευές
Χώρα
Ελλάδα
Γλώσσα
Ελληνικά
Άλλα στοιχεία
240 σελ., εικ.
Στατιστικά χρήσης
ΠΡΟΒΟΛΕΣ
Αφορά στις μοναδικές επισκέψεις της διδακτορικής διατριβής για την χρονική περίοδο 07/2018 - 07/2023.
Πηγή: Google Analytics.
ΞΕΦΥΛΛΙΣΜΑΤΑ
Αφορά στο άνοιγμα του online αναγνώστη για την χρονική περίοδο 07/2018 - 07/2023.
Πηγή: Google Analytics.
ΜΕΤΑΦΟΡΤΩΣΕΙΣ
Αφορά στο σύνολο των μεταφορτώσων του αρχείου της διδακτορικής διατριβής.
Πηγή: Εθνικό Αρχείο Διδακτορικών Διατριβών.
ΧΡΗΣΤΕΣ
Αφορά στους συνδεδεμένους στο σύστημα χρήστες οι οποίοι έχουν αλληλεπιδράσει με τη διδακτορική διατριβή. Ως επί το πλείστον, αφορά τις μεταφορτώσεις.
Πηγή: Εθνικό Αρχείο Διδακτορικών Διατριβών.
Σχετικές εγγραφές (με βάση τις επισκέψεις των χρηστών)